| 故障现象 | 注意检查情况 | 处理办法 |
| 启动困难 | 电源有故障 | 检查是否断电，或者电源缺相，电压太低 |
| 异物入泵，转子卡死 | 检查泵腔或开泵检修 | |
| 转子位置变动 | 开泵检修重新定位转子位置 | |
| 转子与隔板或泵体锈死 | 清洗转子腔 | |
| 齿轮与轴承损坏或齿轮变位 | 更换轴承与齿轮，或调整齿轮 | |
| 启动压力太高 | 降低启动压力 | |
| 电机过载 | 电机绕组短路 | 检查电机绕组 |
| 转子有粘性附着物 | 清洗转子和转子腔 | |
| 轴承和齿轮损坏 | 更换轴承和齿轮 | |
| 泵泄露 | 打压检查泵泄漏源并修复或开泵检修 | |
| 前级真空低 | 提高前级真空度 | |
| 吸气压力过高 | 降低吸气压力 | |
| 真空度低 | 电机转向错误 | 跳换两根电动机电源线 |
| 前级泵真空度低 | 检修前级泵 | |
| 系统轻度泄露 | 打压检漏并修复 | |
| 泵转子、泵壳、隔板的间隙过大 | 维修真空泵减小间隙或返回制造商检修 | |
| 泵的密封泄露 | 打压检漏并修复 | |
| 真空表不准 | 更换真空表 | |
| 溢流阀密封泄露 | 更换溢流阀密封 | |
| 泵的选型小 | 重新选型，更换大泵或机组 | |
| 当地大气压低 | 绝对压力检验真空泵 | |
| 振动/噪音大 | 轴承或齿轮损坏 | 更换轴承或齿轮 |
| 转子位置变动 | 开泵检修重新定位转子位置 | |
| 前级真空度低溢流阀启动 | 提高前级真空度检修前级泵 | |
| 温度高 | 轴承损坏 | 更换轴承 |
| 前级真空低 | 提高前级真空度 | |
| 油箱油位缺油 | 加注真空泵油 | |
| 漏油 | 轴伸油封磨损或损坏 | 更换油封 |
| 转子腔与油箱密封磨损或损坏 | 更换密封部件 | |
| 油箱或油塞泄露 | 检查泄漏源并修复 | |
| 泵油乳化 | 被抽气体具有溶解性 | 与我公司联系，增设特殊密封 |
| 冷却水腔泄露 | 打开端盖检查并修复 | |
| 前级泵（液环/水环真空泵）反液 | 检查前级泵入口阀门 |
